半导体
真空电容器是半导体前道装备焦点部件之一，应用在刻蚀、薄膜沉积PVD\CVD\ALD、等离子注入、等离子洗濯、去胶等装备的射频电源系统中，用于调治保障射频能量的动态高效传输。
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高精度控制
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可靠性与耐用性
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低消耗特征
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宽温事情规模
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无邪的定制选项
